적용 목적 및 분야

• PEDOT:PSS 등의 유기 박막을 증착하는데 있어서, 모세관 현상을 활용하여 Bottom-up 방식으로 코팅하는 장치입니다.
• 100nm 이하의 두께 코팅을 하는데 적합합니다.
• 증착장비 수준의 균일도(<3%)가 구현가능합니다.
• Bottom-up 방식의 코팅이라서 먼지 문제가 없습니다.
• 기계적인 펌프를 사용하지 않기 때문에 진동 문제가 없습니다.

< Capillary coater and mechanism >

프로세스 순서

• 코팅 공정 이후에 바로 건조를 하는 공정이 필요합니다.