적용 목적 및 분야

  • 대면적에 금속배선 제작을 위해서는 구리 필름을 붙인 이후에, 필요한 부분만 남기는 리소그래피 공정을 통하여 배선을 형성하였는데, 이것보다는 잉크젯 프린팅이나 스크린 프린팅으로 배선형태로 미리 형성한 후, 이를 광소결(Photonic curing)하여 금속배선을 만드는 것이 비용적으로 대단히 유리하다.
  • IPL(Intensive Pulse Lighting) 장비는 고출력의 제논램프를 활용하여 넓은 면적에 순간적으로 매우 강한 에너지를 갖는 광을 조사하여 재료가 반응하도록 하는 장비로, 플렉서블 기판을 이용하는 Roll-to-Roll 공정에 최적화 되어 있다.
  • 금속 배선용으로는 은나노와이어, 금속메시, RFID, NFC 등에 적용이 가능하며, Hard coating의 경화, 투과형 코팅의 경화 등에도 사용이 가능하다. 이런 광소결 반도체 메모리, 디스플레이, 배터리, 에너지 저장장치, 센서 등의 전극 형성에 활용될 수 있다.

Curion X-6000 장비

Curion Hybrid 장비

은나노와이어 광소결 접합 결과

< Co-work with Prof. Keon-Jae Lee, KAIST >

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